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FMSR-AB高精度氣浮轉臺：我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉臺采用經過特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動都是無接觸的,因此在整個使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無需進行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩(wěn)的運動并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。

FMSR-DHA系列高性能直驅旋轉臺：?FMSR-DHA系列是采用絕對值編碼器有鐵芯電機。與原來的FMSR-DH 系列相比,FMSR-DHA系列不懼怕灰塵和油污等惡劣的應用環(huán)境。且使用的是絕對值編碼器,而不是增量值編碼器。

FMSR-DH系列高性能直驅旋轉臺：我們在FMSR-D系列的基礎上推出了新的FMSR-DH系列直驅旋轉臺,直驅旋轉電機FMSR-DH系列與FMSR-D系列類似,同樣是無鐵芯型永磁電機。不同的是其通過獨到的機械設計實現電機的扁平特性以及大中孔特性。適用于對高度有特殊要求的應用。

FMSR-DA系列高性能直驅旋轉臺：FMSR-DA系列是采用 Biss-協(xié)議的絕對值編碼器有鐵芯電機。與原來的FMSR-D 系列相比，FMSR-DA系列不懼怕灰塵和油污等惡劣的應用環(huán)境。且使用的是絕對值編碼器,而不是增量值編碼器。重復精度可以達到 士1.5 arc sec以內。最重要的一點是,不用做誤差補償,絕對精度可以達到士15 arc sec以內。

FMSR-D系列高性能直驅旋轉臺：隨著直驅技術不斷進步,直驅電機憑借高轉速,高精度,高承載等特點逐漸取代了科研和工業(yè)上大量應用的“電機+蝸輪蝸桿”結構的旋轉臺。我們推出的FMSR-D系列直驅旋轉臺,涵蓋了有鐵芯電機、無鐵芯電機、絕對式光柵尺、增量式光柵尺等技術,以其高一個數量級的精度、速度以及更美觀的外形設計取代了傳統(tǒng)蝸輪蝸桿結構旋轉臺。

FMS80V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS80基礎上，我們設計了FMS80V系列真空專?位移臺。FMS80V廣泛適用于真空環(huán)境的應?中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。

FMS120V系列真空步進電機高精度通用平移臺：在FMS120系列基礎上，我們設計了FMS120V系列真空專用位移臺。FMS120V廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運行。

FMS80VR真空步進電機高精度整體臺面平移臺：在FMS80R系列基礎上，我們設計了FMS80VR系列真空專用位移臺。FMS80VR廣泛適用于真空環(huán)境的應用中，在-196 ~ +250℃的高低溫環(huán)境、多種輻射環(huán)境以及真空度10-7~ 10-3Pa環(huán)境中仍然能夠保持高精度運?。